جدول المحتويات
في خطوة قد تعيد تشكيل سباق أشباه الموصلات العالمي، قدمت شركة هواوي براءة اختراع توضح مسار إنتاج شرائح من فئة 2 نانومتر باستخدام أدوات الطباعة الضوئية بالأشعة فوق البنفسجية العميقة (DUV) فقط. هذه المعدات لا تزال متاحة لها على الرغم من القيود الصارمة التي فرضتها الدول الغربية والتي تمنع وصولها إلى آلات الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة (EUV) من شركة ASML.
تقنية متطورة لإنتاج الشرائح
تعود براءة الاختراع إلى عام 2022، لكنها لم تُنشر إلا مؤخرًا، وقد اكتشفها الباحث المخضرم في مجال أشباه الموصلات، الدكتور فريدريك تشين. تصف البراءة تقنية متعددة الأنماط متطورة قد تسمح لشركة هواوي وشريكها في التصنيع، SMIC، بالوصول إلى مسافة معدنية ضيقة للغاية تبلغ 21 نانومتر. هذه الأبعاد الحرجة تجعل العمليات الناتجة تتماشى مع عمليات “فئة 2 نانومتر” التي تستعد لها شركات مثل TSMC وSamsung، والتي تعتمد بشكل كبير على تقنية EUV.
في قلب نهج هواوي توجد تقنية الأنماط الرباعية المتوافقة ذاتيًا (SAQP) المحسّنة، والتي يُقال إنها تقلل عدد التعرضات المطلوبة باستخدام DUV إلى أربع فقط. وهذا يُعتبر تحسنًا كبيرًا مقارنةً بالأنظمة التقليدية التي غالبًا ما تتطلب عددًا أكبر من التعرضات، مما يزيد من التعقيد بشكل كبير.
الانتقال إلى الجيل التالي من الشرائح
من خلال دفع بنية DUV الحالية إلى أقصى حدودها، تهدف الشركة إلى الانتقال مباشرة من شريحة كيرين 9030، التي تم تصنيعها على عقدة N+3 الخاصة بـ SMIC، إلى عرض من الجيل 2 نانومتر دون الحاجة إلى استخدام أدوات EUV المحظورة.
الجدوى التجارية لا تزال محل تساؤل
ومع ذلك، يبقى المراقبون في الصناعة حذرين. حتى إذا تم إثبات الجدوى التقنية في المختبر، فإن الجدوى التجارية لمثل هذه العملية المعقدة باستخدام DUV تُعتبر موضع تساؤل واسع. فالتقنية الرباعية في هذه الأبعاد قد تكون معروفة بتقليل العائدات وزيادة العيوب، بالإضافة إلى تكلفتها الباهظة مقارنةً بتقنية EUV ذات التعرض الواحد، وهو ما دفع بقية الصناعة الرائدة إلى الانتقال إلى التكنولوجيا الأحدث للإنتاج عند 3 نانومتر وما دون.
إذا تمكنت وصفة هواوي المعتمدة على SAQP من الوصول إلى الإنتاج بكميات كبيرة، فسيكون ذلك بمثابة عمل تكنولوجي رائع في مواجهة نظام العقوبات. حتى الآن، تظل البراءة بمثابة بيان نوايا وتذكير بمدى استعداد الصين لدفع تقنيات الطباعة الضوئية القديمة في سبيل تحقيق الاكتفاء الذاتي.
الخاتمة
إن براءة اختراع هواوي لتقنية إنتاج شرائح 2 نانومتر تمثل خطوة جريئة في عالم أشباه الموصلات، حيث تسعى الشركة إلى تجاوز القيود المفروضة عليها. بينما تبقى التحديات قائمة، فإن الابتكارات مثل هذه قد تفتح آفاقًا جديدة للصناعة، مما يعكس الطموح الكبير للصين في تحقيق الريادة التكنولوجية.
المصدر: الرابط الأصلي
